Hasil Pencarian - Yu-Hao Tsai

  • Menampilkan 1 - 2 hasil dari 2
Perbaiki Hasil
  1. 1
    Silicon Nitride Etch via Oxidation Reaction in Fluorocarbon/Oxygen Plasma: A First-Principle Study

    Silicon Nitride Etch via Oxidation Reaction in Fluorocarbon/Oxygen Plasma: A First-Principle Study oleh Yu-Hao Tsai, Du Zhang, Mingmei Wang

    Diterbitkan 2018-09-01
    Dapatkan teks lengkap
    Artikel
    Simpan ke Daftar
    Disimpan di:
  2. 2
    Nitridation-Etch of Silicon Oxide in Fluorocarbon/Nitrogen Plasma: A Computational Study

    Nitridation-Etch of Silicon Oxide in Fluorocarbon/Nitrogen Plasma: A Computational Study oleh Du Zhang, Yu-Hao Tsai, Hojin Kim, Mingmei Wang

    Diterbitkan 2019-03-01
    Dapatkan teks lengkap
    Artikel
    Simpan ke Daftar
    Disimpan di:

Alat Pencarian: