Microfabrication of large-area circular high-stress silicon nitride membranes for optomechanical applications oleh E. Serra, M. Bawaj, A. Borrielli, G. Di Giuseppe, S. Forte, N. Kralj, N. Malossi, L. Marconi, F. Marin, F. Marino, B. Morana, R. Natali, G. Pandraud, A. Pontin, G. A. Prodi, M. Rossi, P. M. Sarro, D. Vitali, M. Bonaldi